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DAGE 4800

一家专注于半导体、集成电路、LED老化测试系统、工业自动化测试检测产品的设计、研发、销售以及提供相关检测技术服务和支持的科技公司。

DAGE 4800焊接强度测试仪
产品描述Nordson DAGE 4800 采用晶圆测试技术,可用于测试200毫米至450毫米的晶圆。 将成熟的技术与新的Paragon自动化软件相结合,可提供准确性、可重复性和结果稳定性。

品质

准确性和可重复性确保您对测试结果的质量充满信心。

退后精度

剪切高度的控制(复位)对剪切应用中一致性的测试结果至关重要。Nordson DAGE复位系统有助于设置和控制剪切高度,从而使复位精度达到+/-0.25微米。

成像

一系列功能强大的摄像头和光学系统优化加载工具对准、自动编程和测试分析。

垃圾清理站

快速地从推刀及夹爪中自动清除残渣

双显微镜装置

4800焊接强度测试仪的先进光学器件与显微镜的双减振装置和可调试视窗相结合,可提供图像的稳定性

小尺寸准确定位

矢量微调控制,提供具有可编程的微动按钮的小键盘操作,准确的步进移动,以确保位置精度

自动化测试

完全自动化的测试程序可以配置使用直观的晶圆映射模块在选定的或随机的模具上运行一组测试。协助用户从加载到结果,包括:摄像头的对位,失效模式判定和图形数据展示


先进的全自动晶圆测试技术

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4000和4000Plus焊接强度测试仪上使用的现有测试模组也与4800系统相兼容。

亮点:

n  人体工程学设计,抓取手柄轻便,可稳定无虞的移动

n  可快速轻松地与单功能测试模组交换

n  获得专利的空气轴承技术用于剪切力测试

n  “暂存位置”保护测试模块里面的传感器

n  传感器应用窗口

光学系统

4800系统提供了一系列的光学解决方案:

图像采集系统

为失效模式分析提供高分辨率图像。内置于系统中,靠近测试头的位置可提高产量,尤其适用于自动化测试。

校准摄像头

内置配有微距变焦镜头和通州照明的高分辨率摄像头。当与图像采集系统配合使用时,自动化模板和程序的设置和使用得到显著增强。

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集成的图像采集和对位摄像头


三目摄像头

借助合适的显微镜,可以从远到近调整视场,非常适合微观定位。与侧面对位摄像头结合使用时,两个视图(前部和侧面)有助于实现准确测试头校准。此外,可以使用高功率光学器件来观察20微米以下的超微特征点,以辅助操作员进行剪切力测试校准。

集成校准

侧面对位摄像头非常适合测试微特征。其支持辅助视点功能,可提供准确、可重复的测试。侧面对位摄像头与测试模块支架相连,可以提供超稳定、无震动且持续聚焦测试位置的图像。

孔径仪成像系统

孔径仪可提供高倍放大图像,非常适合工具的准确校准。它也可以实现离线失效模式分析、测试分级和实时测试记录。

成功测试翘曲晶圆和薄晶圆

智能边缘升降托盘拥有独特的设计,边缘升降撑脚能确保弯曲晶圆不会从托盘上滑落。渐进的真空压力在晶圆上方形成真空。

产品特点包括:

预先调准准确

通过在边缘处完全支撑晶圆来消除横向移动。

这确保了每个应用的晶圆放置。

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内置的十字线摄像头对准目标

该对准目标可确保操作员百分之一百确信负载工具相对于卡盘的位置。这种校准大大提高了准确性。

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集成校准

通过内置的验证和测试模组校准确保结果的准确性和可靠性。

智能和直观的晶圆托盘控制器

多功能可编程控制器确保晶圆的可靠的传输。将其无缝集成到Paragon软件中,可以提供有关真空夹紧压力的反馈,从而防止损坏晶圆。

更重要的是,操作者可以轻松看到真空和气压的连续反馈信息,因此可以采取措施防止在压缩空气供应中断的情况下损坏晶圆。

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失效模式和分级

自动图像采集系统定位正确的位置以优化图像质量。扩展的景深选项也会生成自动聚焦的图像和失效的3D地图。

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典型失效模式

全自动晶圆测试技术

集成晶圆处理

Nordson DAGE4800与晶圆处理系统集成,可确保操作可靠性和可重复性。

集成晶圆处理系统将Nordson DAGE4800转化为一个完全自动化的系统,其利用下一代Paragon™焊接强度测试软件确保可靠性和可重复的操作。

直观和可配置的界面为各种样品配置提供了快速、简便的自动化测试程序开发和执行。一步一步的向导引导用户完成设置过程,满足各种选择需求。Paragon还提供了同事显示记录来自多台摄像头视图的功能。


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CHAD晶圆处理器



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Nordson DAGE 4800 Integra是自动晶圆焊接强度测试的解决方案。整个系统由工厂配置并由一台PC控制。

几乎无需操作员介入测试

该系统完全由Paragon™软件进行控制,经过编程后,无需操作员介入即可自动执行测试的所有部分。

ECS/GEM集成

系统直接连接到网络以允许SECS/GEM操作。当与FOUP加载系统结合使用时,测试、分析和结果可以完全自动化。

无尘室兼容

可选风扇过滤装置和前门可加入离子去除装置,以进行无尘室操作。

自动晶圆矫正器

晶圆矫正器确保在测试之前可将翘曲的晶圆自动夹紧到真空吸盘上。

风扇过滤器

4800 Integra可安装风扇过滤器和封闭门。这样可以保持系统内部的正压力,并将碎屑排出测试区域。

互锁选项

可以安装光幕或互锁门,以保护操作者免受测试区域的伤害。系统将在光幕或互锁门被损坏或被打开时暂停当前的测试,并在障碍物消除后重新启动。

CCD摄像头监控

可选的CCD摄像头可以安装在晶圆处理机上,也可以安装在4800 Integra内部。允许对测试过程进行监视和记录。

 

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风扇过滤装置和封闭门

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光幕或互锁门


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自动晶圆矫正器

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